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產品介紹

EX-700 EX-700 Digital Mass flow controller

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EXE-FLOW ™ has implemented the concept of "accurate" precision flow measurement "excellent" excellent functionality.
It covers small flow (FS 10 sccm) to large flow (FS 200 slm)
We have a standard range of 11 standard stocks
One type to multi-gas setting
With LCD display panel
Optional FGT-IOT project software to achieve industrial 4.0 to achieve remote cross-platform monitoring and big data analysis

EX-700 Digital Mass flow controller

 
EXE-FLOW ™ has implemented the concept of "accurate" precision flow measurement "excellent" excellent functionality.
It covers small flow (FS 10 sccm) to large flow (FS 200 slm)
We have a standard range of 11 standard stocks
One type to  multi-gas setting
With LCD display panel
Optional FGT-IOT project software to achieve industrial 4.0 to achieve remote cross-platform monitoring and big data analysis
 
センサー方式 熱式巻線センサー
流量レンジ (N2) 10 /50 /100 /500SCCM  1 /5 /10 /20SLM 50 /100 /200SLM
指定可能ガス(*1) N2 (Air, H2, He, Ar, O2, CO2 他/ CF 換算による切り替え) N2 (Air, Ar / CF 換算による切り替え)
応答性 2 秒以内
精    度(*2) ± 1.0%F.S. (25℃ ) ± 1.5%F.S.(25℃ )
温度係数 ± 0.2%F.S./℃ (15 ~ 35℃ )  ※ 200SLM のみ± 0.4%F.S./℃
再現性 ± 0.2%F.S.
耐圧 980 k Pa(G)
許容周囲温度 5 ~ 50℃
許容保管温度 -10 ~ 60℃
許容動作湿度 10 ~ 90%RH ( 結露なきこと)
接ガス部材質 SUS316, SUS316L, PTFE, FKM ( オプションNBR,CRP)
電気接続 DC ジャックまたはDsub9 ピンオス
デジタル通信 RS485(MODBUS プロトコル、RTU モード)ID:1-247
所要電源( D C ) 24VDC( ± 10%) 100mA 以下
継手 1/4F900( 標準) 3/8F900( 標準)
制御ニードル( オプション MODEL2412 ( カタログP122) MODEL2412D ( カタログP131) 
取り付け姿勢 水平方向推奨
出力 出力方式 NPN オープンコレクタ 2 点 ( 最大定格:DC30V 50 m A)
出力数 2 点(各出力を瞬時流量上限、下限、上下限又は積算到達に選択設定、1 点は積算パルスも選択可)出力の反転可
イベント表示 LED ランプ(OUT1、OUT2)点灯
アナログ出力(*4 ① 4 ~ 20mA (500 Ω以下) ② 0 ~ 5V (10k Ω以上) ③ 1 ~ 5V (10k Ω以上)
重量 約600g ( 継手含まず) 約700g ( 継手含まず)
       
(*1) 乾燥気体であり、腐食成分及びダスト・ミスト等が含まれないクリーンガス。N2ガス以外はデータからの計算値による切り替えとなります。
(* 2) N2ガスでの精度保証になります。15-35℃の温度保証オプションもございます。別途ご相談下さい。 
(*3) ガス切り替え時はN2のフルスケールと同じ流量割り振り。計測データをもとにしたガス種補正ですが、精度保証するものではありません。
(*4) V/I注文時選択。    
     

 

EXE-FLOW™已經實現了“精確”精確流量測量“優秀”優秀功能的概念。 它涵蓋從小流量(FS 10 sccm)到大流量(FS 200 slm) 我們有11個標準庫存的標準範圍 並可一次性多氣體設定 帶LCD顯示面板 可選購FGT-IOT專案軟體實現工業4.0實現遠端跨平台監控及大數據分析
There is no software available.





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