FGT คิดว่าทางเลือกที่ดีที่สุดของคุณในอนาคต
นักออกแบบการรวมระบบใน FGT

TMFC125 ประเภท: Mass Flow Controller

TMFC125 ประเภท: Mass Flow Controller

  • ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
  • ตอบสนองอย่างรวดเร็ว≦2.0 วินาที
  • มีช่วงแรงดันกว้าง (1000 PSIG)
  • ไม่มีการรั่วไหล
  • ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
  • รองรับการเชื่อมต่อ
  • เซ็นเซอร์ที่ถอดออกได้ที่มีความเสถียรสูง
  • ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
  • ความเป็นลิเนียร์ที่ดีเยี่ยม
  • เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
  • การออกแบบโมดูลาร์
  • ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด
  • ด้วยฟังก์ชัน RS-485
  • ฟังก์ชั่นตัวเลือก: อินเทอร์เฟซและแยกประเภท
  • ™ตัวเลือกการแสดงผลด้วยดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet

รายละเอียดเพิ่มเติม

  • ความแม่นยำสูงที่การไหลต่ำ
  • ตอบสนองอย่างรวดเร็ว≦2.0 วินาที
  • มีช่วงแรงดันกว้าง (1000 PSIG)
  • ไม่มีการรั่วไหล
  • ไม่ต้องใช้อุณหภูมิหรือความดัน
  • รองรับการเชื่อมต่อ
  • เซ็นเซอร์ที่ถอดออกได้เพื่อความมั่นคงสูง
  • ค่าความต้านทานการกัดกร่อน
  • ความเป็นเส้นตรงดีเยี่ยม
  • เสถียรภาพระยะยาวที่ดีเยี่ยม
  • การออกแบบโมดูลาร์
  • ระบบควบคุมการไหลแบบกะทัดรัด
  • ด้วยฟังก์ชัน RS-485
  • ฟังก์ชันตัวเลือก: อินเทอร์เฟซและการแยกประเภท
  • ™ตัวเลือกจอแสดงผลดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น)/DeviceNet

ข้อกำหนดทางเทคนิค

แบบอย่าง TMFC125V TMFC125VD TMFC125A TMFC125AD
ช่วงการไหล(N2) 30~100SLM 30~100SLM 30~100SLM 30~100SLM
เวลาตอบสนอง ≦2.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ความซ้ำซ้อน ±0.25 % FS
พิสูจน์ความดัน 1000PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
 

วัสดุของชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซ

ตัวเครื่อง: SUS316
บ่าวาล์ว: Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
 

ข้อต่อ

มาตรฐาน:การบีบอัด 3/8″
ตัวเลือก: 1/8" การบีบอัดหรือ VCR™, 1/4 การบีบอัดหรือ VCR™
การเชื่อมต่อไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub 15 พินตัวผู้ต่อมาตรฐาน
สัญญาณอินพุตอัตราการไหล 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
สัญญาณเอาท์พุตอัตราการไหล 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
แหล่งจ่ายไฟที่จำเป็น +15~28Vdc/350mA
 

 

การแสดงตัวเลือก

ใช้พิมพ์ ◎ใช่ ไม่ ◎ใช่ ไม่
อินเทอร์เฟซการแสดงผล ตัวเลือก:อินเทอร์เฟซหรือแยกประเภท (พร้อมสาย 1M หรือ 3M) สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น
การสื่อสาร

อินเตอร์เฟซ

ดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น
แหล่งจ่ายไฟ AC110~240V สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น

แอปพลิเคชัน

MFC .คืออะไร

อา ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) เป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของ ก๊าซ.[1] ตัวควบคุมการไหลของมวลได้รับการออกแบบและปรับเทียบเพื่อควบคุมของเหลวหรือก๊าซบางประเภทที่ช่วงอัตราการไหลเฉพาะ MFC สามารถกำหนดจุดตั้งค่าได้ตั้งแต่ 0 ถึง 100% ของช่วงเต็มสเกล แต่โดยทั่วไปแล้วจะทำงานใน 10 ถึง 90% เต็มรูปแบบโดยมีความแม่นยำสูงสุด จากนั้น อุปกรณ์จะควบคุมอัตราการไหลไปยังจุดตั้งค่าที่กำหนด MFC สามารถเป็นได้ทั้ง อนาล็อก หรือ ดิจิทัล. ตัวควบคุมการไหลแบบดิจิตอลมักจะสามารถควบคุมของเหลวได้มากกว่าหนึ่งประเภทในขณะที่ตัวควบคุมแบบอะนาล็อกจะ จำกัด เฉพาะของไหลที่ได้รับการสอบเทียบ

ตัวควบคุมการไหลของมวลทั้งหมดมีพอร์ตขาเข้า พอร์ตทางออก เซ็นเซอร์วัดการไหลของมวล และวาล์วควบคุมตามสัดส่วน MFC ติดตั้งระบบควบคุมแบบวงปิดซึ่งได้รับสัญญาณอินพุตจากผู้ปฏิบัติงาน (หรือวงจร/คอมพิวเตอร์ภายนอก) ที่เปรียบเทียบกับค่าจาก เซ็นเซอร์การไหลของมวล และปรับวาล์วตามสัดส่วนเพื่อให้ได้การไหลที่ต้องการอัตราการไหลจะถูกระบุเป็นเปอร์เซ็นต์ของการไหลเต็มสเกลที่สอบเทียบและจ่ายให้กับ MFC เป็นสัญญาณแรงดันไฟฟ้า

ตัวควบคุมการไหลของมวลต้องการก๊าซหรือของเหลวที่จ่ายให้อยู่ในช่วงแรงดันที่กำหนด แรงดันต่ำจะทำให้ MFC ของของไหลขาดอาหาร และทำให้ไม่สามารถบรรลุค่าที่ตั้งไว้ ความดันสูงอาจทำให้อัตราการไหลไม่แน่นอน

ใบสมัคร MFC

1.เครื่องซีวีดี

CVD คืออะไร

การสะสมของไอเคมี (CVD) คือ การสะสมสูญญากาศ กรรมวิธีที่ใช้ในการผลิตวัสดุคุณภาพสูง ประสิทธิภาพสูง แข็ง กระบวนการนี้มักใช้ใน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลิต ฟิล์มบาง.

ใน CVD ทั่วไป the เวเฟอร์ (สารตั้งต้น) สัมผัสกับหนึ่งหรือมากกว่า ระเหย สารตั้งต้น, ที่ ตอบสนอง และ/หรือ ย่อยสลาย บนพื้นผิวเพื่อสร้างตะกอนที่ต้องการ บ่อยครั้ง ระเหย ผลพลอยได้ ถูกผลิตขึ้นเช่นกัน ซึ่งถูกกำจัดโดยการไหลของก๊าซผ่านห้องปฏิกิริยา

ไมโครแฟบริเคชั่น กระบวนการใช้ CVD อย่างกว้างขวางในการฝากวัสดุในรูปแบบต่างๆ ได้แก่ : monocrystallineคริสตัลไลน์อสัณฐาน, และ epitaxial. วัสดุเหล่านี้รวมถึง: ซิลิกอน ซิลิกอน (ไดออกไซด์คาร์ไบด์ไนไตรด์ออกซิไนไตรด์), คาร์บอน (ไฟเบอร์เส้นใยนาโนท่อนาโนเพชร และ กราฟีน), ฟลูออโรคาร์บอนเส้นใยทังสเตนไททาเนียมไนไตรด์ และต่างๆ ไดอิเล็กทริกสูง.

 

2.วาล์วท่อร่วม/แผง (VMB/VMP)

VMB/VMP . คืออะไร

จากประสบการณ์ของเราในการจัดการก๊าซ เราได้รับความรู้ในการออกแบบและผลิตแผงก๊าซ (กล่องแก๊ส) ของระบบ EPI และ MOCVD ระบบการจัดหาวัสดุ ฯลฯ
ความสำเร็จในธุรกิจของเรา เราสามารถออกแบบและผลิตให้ตรงตามที่ลูกค้าต้องการ (ราคาและสเปค) เรารับจัดการกับ hub ring air supply ของ liquefied gass ไม่ใช่แค่ก๊าซธรรมดาๆ เท่านั้น นอกจากนี้เรายังรองรับการยื่นคำร้องทางกฎหมายประเภทต่างๆ .

กระแสน้ำ

แบบอย่าง TMFC125V TMFC125VD TMFC125A TMFC125AD
ช่วงการไหล(N2) 30~100SLM 30~100SLM 30~100SLM 30~100SLM
เวลาตอบสนอง ≦2.0วินาที
ความแม่นยำ ±1.0 % FS
ความซ้ำซ้อน ±0.25 % FS
พิสูจน์ความดัน 1000PSIG
อัตราการรั่วไหล 1 x 10-9 atm.cc/วินาที หรือน้อยกว่า
ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน 0~50℃
 

วัสดุของชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซ

ตัวเครื่อง: SUS316
บ่าวาล์ว: Vition™ (ตัวเลือก Bura™ หรือ Kalrez™ หรือ Teflon™)
 

ข้อต่อ

มาตรฐาน:การบีบอัด 3/8″
ตัวเลือก: 1/8" การบีบอัดหรือ VCR™, 1/4 การบีบอัดหรือ VCR™
การเชื่อมต่อไฟฟ้า ขั้วต่อ Dsub 15 พินตัวผู้ต่อมาตรฐาน
สัญญาณอินพุตอัตราการไหล 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
สัญญาณเอาท์พุตอัตราการไหล 0~5Vdc 0~5Vdc+RS-485 4~20mA 4~20mA+RS-485
แหล่งจ่ายไฟที่จำเป็น +15~28Vdc/350mA
 

 

การแสดงตัวเลือก

ใช้พิมพ์ ◎ใช่ ไม่ ◎ใช่ ไม่
อินเทอร์เฟซการแสดงผล ตัวเลือก:อินเทอร์เฟซหรือแยกประเภท (พร้อมสาย 1M หรือ 3M) สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น
การสื่อสาร

อินเตอร์เฟซ

ดิจิตอล: RS485 (ค่าเริ่มต้น) / DeviceNet™ สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น
แหล่งจ่ายไฟ AC110~240V สำหรับ TMFC125V/A เท่านั้น
เร็วๆ นี้ ฟังก์ชัน

ข้อมูลการสั่งซื้อ

ข้อมูลการสั่งซื้อ
TMFC รหัส ช่วงการไหล
 

125 30~100SLM
300 100~300SLM
500 300~1000SLM
 

รหัส สัญญาณเข้า/ออก
วี 0 ~ 5Vdc (ชนิดมาตรฐาน)
อา 4~20mA
VD 0~5Vdc+RS-485(ไม่สามารถใช้เพื่อแสดงประเภทตัวเลือกได้)
 

AD
4~20mA+RS-485(ไม่สามารถใช้เพื่อแสดงตัวเลือกประเภท)
รหัส ขนาดที่เหมาะสม
2 1/8″
4 1/4″
6 3/8"(แบบมาตรฐานสำหรับ TMFC125/300)
8 1/2″(แบบมาตรฐานสำหรับ TMFC500)
 

รหัส ประเภทข้อต่อ
อา การบีบอัด SWL
วี VCR Maleชาย
 

รหัส ผนึก
วี ไวตัน(แบบมาตรฐาน)
บี บุนนา
K คาลเรซ
ตู่ เทฟลอน
รหัส ฟังก์ชั่นการแสดงตัวเลือก#1
นู๋ ไม่มี (แบบมาตรฐาน)
ฉัน ประเภทอินเทอร์เฟซ
ดี แยกประเภทด้วยสายเคเบิล 1M
อี แยกประเภทด้วยสายเคเบิล 1M
รหัส ตัวเลือกแสดง Remove#2
R ดิจิตอล RS485 (แบบมาตรฐาน)
ดี อุปกรณ์เน็ต
 

TMFC กรอกรหัสการสั่งซื้อ
*หมายเหตุ: ทุกรุ่นมาพร้อมกับพาวเวอร์ซัพพลาย (+15~28 Vdc/350mA)
*หมายเหตุ: ใช้โลโก้ลูกค้าเปิดตัวให้ครบ 100 กว่าตัวต่อปี
แบบฟอร์มติดต่อสอบถาม