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產品介紹

EX-700 EX-700質量流量控制器

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EXE-FLOW™已經實現了“精確”精確流量測量“優秀”優秀功能的概念。
它涵蓋從小流量(FS 10 sccm)到大流量(FS 200 slm)
我們有11個標準庫存的標準範圍
並可一次性多氣體設定
帶LCD顯示面板
可選購FGT-IOT專案軟體實現工業4.0實現遠端跨平台監控及大數據分析
EXE-FLOW™已經實現了“精確”精確流量測量“優秀”優秀功能的概念。
它涵蓋從小流量(FS 10 sccm)到大流量(FS 200 slm)
我們有11個標準庫存的標準範圍
並可一次性多氣體設定
帶LCD顯示面板
可選購FGT-IOT專案軟體實現工業4.0實現遠端跨平台監控及大數據分析
 
 
傳感器類型 熱繞組傳感器
流量範圍(N 2) 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM 50/100/200 SLM
可指定氣體(* 1) N2(空氣,H2,He,Ar,O2,CO2等/通過CF轉換) N2(空氣切換,Ar / CF轉換)
響應 2秒內
精度(* 2) ±1.0%FS(25°C) ±1.5%FS(25°C)
溫度係數 ±0.2%FS /℃(15〜35℃)* 200 SLM±0.4%FS /℃
再生性 ±0.2%FS
耐電壓 980 k Pa(G)
環境溫度允許 5〜50℃
容許儲存溫度 -10至60℃
允許工作濕度 10〜90%RH(無冷凝)
氣體接觸部分的材料 SUS 316,SUS 316 L,PTFE,FKM(選購件NBR,CRP)
電氣連接 直流插孔或Dsub 9針公頭
數字通訊 RS 485(MODBUS協議,RTU模式)ID:1-247
所需電源(D C) 24 VDC(±10%)100 mA以下
配件 1 / 4F 900(標準) 3 / 8F 900(標準)
控製針(選項 型號2412(目錄P 122) 型號2412 D(目錄P 131) 
安裝姿態 水平方向推薦
產量 輸出方式 NPN開路集電極2點(最大額定值:DC 30 V 50 mA)
輸出數量 2點(可設置瞬時流量上限,下限,上限/下限或累計到達,1點可選積分脈衝)輸出可逆
事件顯示 LED燈(OUT 1,OUT 2)點亮
模擬輸出(* 4 ①4〜20mA(500Ω以下)②0〜5V(10kΩ以上)③1〜5V(10kΩ以上)
重量 約600g(不含配件) 約700克(不包括配件)
       
(* 1)清潔乾燥氣體,不含腐蝕性物質和灰塵/霧氣。除了N2氣體外,還將從數據中切換計算值。
(* 2)成為N 2氣體的準確性保證。還有一個15 - 35°C的溫度保證選項。請單獨諮詢我們。 
(* 3)在氣體切換時,分配與N 2的滿量程相同的流量。雖然是基於測量數據的氣體類型校正,但並不能保證精度。
(* 4)訂購時V / I選擇。    
       
     

 

EXE-FLOW™已經實現了“精確”精確流量測量“優秀”優秀功能的概念。 它涵蓋從小流量(FS 10 sccm)到大流量(FS 200 slm) 我們有11個標準庫存的標準範圍 並可一次性多氣體設定 帶LCD顯示面板 可選購FGT-IOT專案軟體實現工業4.0實現遠端跨平台監控及大數據分析
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