Loại TMFC30: Bộ điều khiển lưu lượng lớn

Loại TMFC30: Bộ điều khiển lưu lượng lớn

  • Độ chính xác cao ở lưu lượng thấp
  • Phản hồi nhanh (≦ 1,0)
  • Có sẵn dải áp suất rộng (1300 PSIG)
  • Không rò rỉ
  • Không yêu cầu nhiệt độ hoặc áp suất
  • Kết nối tương thích
  • Cảm biến có thể tháo rời ổn định cao
  • Chống ăn mòn Giá trị
  • Tuyến tính tuyệt vời
  • Độ ổn định lâu dài tuyệt vời
  • Thiết kế mô-đun
  • Hệ thống kiểm soát dòng chảy nhỏ gọn

Mô tả

  • Độ chính xác cao ở lưu lượng thấp
  • Phản hồi nhanh (≦ 1,0)
  • Phạm vi áp suất rộng có sẵn (1300 PSIG)
  • Không rò rỉ
  • Không yêu cầu nhiệt độ hoặc áp suất
  • kết nối tương thích
  • Cảm biến có thể tháo rời để có độ ổn định cao
  • Giá trị chống ăn mòn
  • tuyến tính tuyệt vời
  • Ổn định lâu dài tuyệt vời
  • Thiết kế mô-đun
  • Hệ thống kiểm soát dòng chảy nhỏ gọn

Thông số kỹ thuật

Người mẫu TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
Phạm vi dòng chảy (N2) 10sccm ~ 30SLM 10sccm ~ 30SLM 10scc ~ 50SLM 10scc ~ 50SLM
Thời gian đáp ứng ≦ 1.0 giây
Sự chính xác ± 1,0 % FS
Độ lặp lại ± 0,25 % FS
Sức ép bằng chứng 1300 PSIG
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
Phạm vi nhiệt độ làm việc 0 ~ 50 ℃
Vật liệu của các bộ phận tiếp xúc với khí Nội dung: SUS316
Ghế van: Vition ™ (Tùy chọn Bura ™ hoặc Kalrez ™ hoặc Teflon ™)
Chung Tiêu chuẩn: 1/4 nén
Tùy chọn: Nén 1/8, 1/4 VCR ™, 3/8 Nén, VCR ™
Kết nối điện Đầu nối nam 15 chân Dsub theo tiêu chuẩn
Tín hiệu đầu vào tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
Tín hiệu đầu ra tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
yêu cầu cung cấp điện + 15 ~ 28Vdc / 350mA

Ứng dụng

MFC là gì

MỘT Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (MFC) là một thiết bị được sử dụng để đo lường và kiểm soát dòng chảy của khí.[1] Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng được thiết kế và hiệu chuẩn để điều khiển một loại chất lỏng hoặc khí cụ thể ở một phạm vi tốc độ dòng chảy cụ thể. MFC có thể được cung cấp một điểm đặt từ 0 đến 100% trong toàn bộ phạm vi thang đo của nó nhưng thường hoạt động trong phạm vi 10 đến 90% ở quy mô đầy đủ, nơi đạt được độ chính xác tốt nhất. Sau đó, thiết bị sẽ kiểm soát tốc độ dòng chảy đến điểm đặt đã cho. MFC có thể là tương tự hoặc điện tửBộ điều khiển lưu lượng kỹ thuật số thường có thể điều khiển nhiều hơn một loại chất lỏng trong khi bộ điều khiển tương tự bị giới hạn ở chất lỏng mà nó được hiệu chuẩn.

Tất cả các bộ điều khiển lưu lượng khối đều có cổng vào, cổng ra, cảm biến lưu lượng khối và van điều khiển tỷ lệ. MFC được trang bị hệ thống điều khiển vòng kín được người vận hành (hoặc mạch bên ngoài / máy tính) cung cấp tín hiệu đầu vào mà nó so sánh với giá trị từ cảm biến lưu lượng khối lượng và điều chỉnh van tỷ lệ cho phù hợp để đạt được lưu lượng yêu cầu. Tốc độ dòng chảy được chỉ định theo tỷ lệ phần trăm của dòng chảy quy mô đầy đủ đã hiệu chỉnh và được cung cấp cho MFC dưới dạng tín hiệu điện áp.

Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng lớn yêu cầu khí cung cấp hoặc chất lỏng nằm trong một phạm vi áp suất cụ thể. Áp suất thấp sẽ làm đói MFC của chất lỏng và khiến nó không đạt được điểm đặt. Áp suất cao có thể gây ra tốc độ dòng chảy thất thường.

Ứng dụng MFC

1. Máy CVD

CVD là gì

lắng đọng hơi hóa chất (CVD) là một lắng đọng chân không phương pháp được sử dụng để sản xuất vật liệu rắn, chất lượng cao, hiệu suất cao. Quá trình này thường được sử dụng trong Ngành công nghiệp bán dẫn để sản xuất phim mỏng.

Trong CVD điển hình, wafer (chất nền) được tiếp xúc với một hoặc nhiều bay hơi tiền chất, cái mà phản ứng và / hoặc phân hủy trên bề mặt đế để tạo ra cặn mong muốn. Thường xuyên, dễ bay hơi sản phẩm phụ cũng được tạo ra, được loại bỏ bởi dòng khí đi qua buồng phản ứng.

Chế tạo vi mô các quy trình sử dụng rộng rãi CVD để lưu ký vật liệu dưới nhiều hình thức khác nhau, bao gồm: đơn tinh thểđa tinh thểvô định hình, và thuộc về tầng sinh mônCác vật liệu này bao gồm: silicon silicon (điôxítcacbuanitrideoxynitride), carbon (chất xơsợi nanoống nanokim cương và graphene), fluorocarbonssợi nhỏvonframnitrua titan và nhiều chất điện môi cao k.

2. hộp / bảng điều khiển đa dạngValve (VMB / VMP)

VMB / VMP là gì

Thông qua kinh nghiệm xử lý khí, chúng tôi đã có được kiến thức để thiết kế và sản xuất bảng điều khiển khí (hộp khí) của hệ thống EPI và MOCVD, hệ thống cung cấp vật liệu, v.v.
Thành tựu trong kinh doanh của chúng tôi, chúng tôi có thể thiết kế và sản xuất để đáp ứng yêu cầu của khách hàng (giá cả và thông số kỹ thuật). .

Flow Rang

Người mẫu TMFC30V TMFC30A TMFC50V TMFC50A
Phạm vi dòng chảy (N2) 10sccm ~ 30SLM 10sccm ~ 30SLM 10scc ~ 50SLM 10scc ~ 50SLM
Thời gian đáp ứng ≦ 1.0 giây
Sự chính xác ± 1,0 % FS
Tính lặp lại ± 0,25 % FS
Sức ép bằng chứng 1300 PSIG
tỉ lệ rò rỉ 1 x 10-9 atm.cc/sec trở xuống
Phạm vi nhiệt độ làm việc 0 ~ 50 ℃
Vật liệu của các bộ phận tiếp xúc với khí Nội dung: SUS316
Ghế van: Vition ™ (Tùy chọn Bura ™ hoặc Kalrez ™ hoặc Teflon ™)
Chung Tiêu chuẩn: 1/4 nén
Tùy chọn: Nén 1/8, 1/4 VCR ™, 3/8 Nén, VCR ™
Kết nối điện Đầu nối nam 15 chân Dsub theo tiêu chuẩn
Tín hiệu đầu vào tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
Tín hiệu đầu ra tốc độ dòng chảy 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA
yêu cầu cung cấp điện + 15 ~ 28Vdc / 350mA

Thông tin đặt hàng

Thông tin đặt hàng
TMFC Mã số Phạm vi dòng chảy
 

30 0 ~ 30SLM
50 0 ~ 50SLM
 

Mã số Tín hiệu vào / ra
V 0 ~ 5Vdc (Loại tiêu chuẩn)
 

MỘT
4 ~ 20mA
Mã số Kích thước phù hợp
2 1/8″
4 1/4 ″ (Loại tiêu chuẩn)
6 3/8″
 

Mã số Loại phù hợp
MỘT Nén SWL
V VCR nam
 

Mã số Niêm phong
V Viton (Loại tiêu chuẩn)
B Buna
K Kalrez
T Teflon
Mã số Logo
F Logo FGT (Loại tiêu chuẩn)
C Logo khách hàng
 

TMFC Hoàn thành mã đặt hàng
* Lưu ý: Tất cả các Model đều đi kèm với Nguồn điện (+ 15 ~ 28 Vdc / 350mA)
* Lưu ý: Sử dụng Logo của khách hàng ra mắt hơn 100 thống nhất trong một năm
Mẫu yêu cầu